基于工业机器人的小工具加工机床,利用小工具在元件表面高速旋动,实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头,确保抛光过程中材料去除函数稳定可控,从而实现超精密元件表面的高精度加工,配合全链路工艺、软件,实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。
优势1、基于工业机器人专用控制系统,实现高精度表面成型。2、基于力控传感器的柔性抛光头设计,精确控制加工过程去除函数。3、根据加工要求,开放式全链路加工工艺软件开发。4、根据客户要求定制开发
主要技术指标
≥φ1000mm